第一部分:基本物理化学定义

  1. 解释 $\Delta G$​ $K_p$ 的物理化学定义

    • $\Delta G$:吉布斯自由能变
    • $K_p$:分压平衡常数
  2. 思考题:其(上述参数)与氢化学的关系与意义?

第二部分:晶体生长原理(分凝、界面与传输)

  1. 推导平衡分凝系数及曲线(即推导 BPS 公式)

    • 目标公式:$K_{eff} = \frac{k_0}{k_0 + (1-k_0)e^{-f\delta/D}}$
  2. 有效分凝系数 $K_{eff}$ 看和什么参数有关?

  3. $K_{eff}$ 的定义及距离(扩散层厚度 $\delta$​ )是什么?

  4. 思考题:除加强搅拌外还有什么办法使 $K_{eff}$ 趋近于 $k_0$​

  5. 结晶前 $K_{eff}$ 的变化情况是怎样的?

  6. 生长速度 $f$ 与什么参数有关?

  7. 温度梯度 $G$ 是指哪个温度梯度? (指固液界面前沿的温度梯度)

  8. 研究固液界面形态的核心原因?

  9. 溶液凝固点变化分析(定性 + 定量)。

第三部分:晶体生长方法与工艺 (Bulk Growth)

  1. 比较 VB(垂直布里奇曼法)和 VGF(垂直梯度凝固法)这两个生长方法的区别,优缺点是?
  2. 根据图 2-10 以及区熔提纯理论,当区熔次数到 14~15 次以上时,分析曲线特性。
  3. 尾端杂质浓度分布与正常定向杂质分布特性有什么不同?分析原因。
  4. 结合 MCZ(磁控拉晶法),为什么可以促成结晶和提高纵向电阻率均匀性?
  5. 不使用 MCZ 之时,提高纵向电阻率的方法?
  6. 如何提高纵向电阻率(工艺手段总结)?

第四部分:外延生长 (Epitaxy)

  1. MOVPE 中源供给系统用高纯 $H_2$ 的原因?
  2. 通过什么途径实现外延层厚度均匀?